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经营范围
发明名称
Anordnung zur elektrischen Positionierung eines Elektronenstrahls
摘要
申请公布号
DD242126(B5)
申请公布日期
1997.06.12
申请号
DD19850282323
申请日期
1985.11.01
申请人
LEICA LITHOGRAPHIE SYSTEME JENA GMBH
发明人
KUSCHEL, GEORG, DR. RER. NAT.;NAUMANN, RUDOLF, DIPL.-PHYS.
分类号
B23K15/02;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30
主分类号
B23K15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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