发明名称 Anordnung zur elektrischen Positionierung eines Elektronenstrahls
摘要
申请公布号 DD242126(B5) 申请公布日期 1997.06.12
申请号 DD19850282323 申请日期 1985.11.01
申请人 LEICA LITHOGRAPHIE SYSTEME JENA GMBH 发明人 KUSCHEL, GEORG, DR. RER. NAT.;NAUMANN, RUDOLF, DIPL.-PHYS.
分类号 B23K15/02;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 B23K15/02
代理机构 代理人
主权项
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