In einem Gerät zusammengefügtes Rasterelektronenmikroskop und Rastertunnelmikroskop und Verfahren,申请号DE1991623612T-传众专利搜索

发明名称	In einem Gerät zusammengefügtes Rasterelektronenmikroskop und Rastertunnelmikroskop und Verfahren
摘要
申请公布号	DE69123612(T2)	申请公布日期	1997.06.12
申请号	DE1991623612T	申请日期	1991.01.29
申请人	HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	YAMADA, OSAMU, KATSUTA-SHI, IBARAKI 312, JP;HAZAKI, EIICHI, TSUCHIURA-SHI, IBARAKI 300, JP;NAKAIZUMI, YASUSHI, KATSUTA-SHI, IBARAKI 312, JP
分类号	G01B7/34;G01N37/00;G01Q30/02;G01Q60/10;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28;G01N27/00	主分类号	G01B7/34
代理机构		代理人
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