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发明名称 Behälter für Halbleiter-Wafer
摘要
申请公布号 DE69219535(D1) 申请公布日期 1997.06.12
申请号 DE19926019535 申请日期 1992.09.01
申请人 SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP;SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OGINO, NOBUYOSHI, MUSASHINO-SHI, TOKYO, JP;YAJIMA, TOSHITSUGU, ITOIGAWA-SHI, NIIGATA-KEN, JP
分类号 H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
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