发明名称 SENKRECHTES WÄRMEREAKTORSYSTEM
摘要
申请公布号 DE69030667(D1) 申请公布日期 1997.06.12
申请号 DE1990630667 申请日期 1990.08.01
申请人 ASM VT, INC., PHOENIX, ARIZ., US 发明人 DEVILBISS, JOHN, J., SAN MATEO, CA 94401, US;GLAZE, JAMES, A., DANVILLE, CA 94526, US;LUGOSI, STEVE, FREMONT, CA 94539, US;MCNAUGHTON, ALLEN, D., FREMONT, CA 94538, US;OZARSKI, ROBERT, G., LIVERMORE, CA 94550, US
分类号 F27B17/00;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):C23C16/46 主分类号 F27B17/00
代理机构 代理人
主权项
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