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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung
摘要
申请公布号 DE69029014(T2) 申请公布日期 1997.06.12
申请号 DE19906029014T 申请日期 1990.07.13
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YUNOGAMI, TAKASHI, KOKUBUNJI-SHI, TOKYO, JP;MIZUTANI, TATSUMI, KOGANEI-SHI, TOKYO, JP;SUZUKI, KEIZO, TOKYO, JP
分类号 H01L21/31;G01Q30/08;H01L21/30;H01L21/3105;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/310;H01L21/311 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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