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发明名称 Verfahren zur Ionenimplantation
摘要
申请公布号 DE3855897(D1) 申请公布日期 1997.06.12
申请号 DE19883855897 申请日期 1988.08.11
申请人 OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 FUKUDA, HISASHI OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD., MINATOKU TOKYO, JP
分类号 H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
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