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发明名称 Polyfunktionelle Vinyletherverbindungen und diese enthaltende Harzzusammensetzungen für Photoresiste
摘要
申请公布号 DE69403007(D1) 申请公布日期 1997.06.12
申请号 DE19946003007 申请日期 1994.02.16
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD., OSAKA, JP 发明人 HOZUMI, SHIGEO, IBARAKI, JP;KITAYAMA, SHINICHIRO, IBARAKI, JP;NAKAGAWA, HIROYA, IBARAKI, JP
分类号 C08G8/04;C08G8/20;C08G8/22;C08G8/24;C08G8/28;G03F7/027;G03F7/038;(IPC1-7):C08G8/04;C08G8/36 主分类号 C08G8/04
代理机构 代理人
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