发明名称
摘要
申请公布号 JP2618926(B2) 申请公布日期 1997.06.11
申请号 JP19870262556 申请日期 1987.10.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01R27/26;(IPC1-7):G01R27/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址