晶态α和β相氮化碳薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明涉及化学汽相沉积技术领域，特别是涉及用化学沉积法合成超硬度的晶态C₃N₄材料及其方法，本发明的目的在于制备一种理论预测到的新超硬晶态α和β相氮化碳材料，和提供一种用偏压辅助热丝化学气相沉积法生长晶态C₃N₄材料的方法，该方法工艺简单，易于掌握扩大工业生产。

主权项

1.一种具有α相晶格常数为a轴＝6.54，c轴＝4.74，β相晶格常数为a轴＝6.44，c轴＝2.47的晶态结构氮化碳C3N4材料，其中α相的晶胞内有28个原子，β相的晶胞内有14个原子，和N∶C比达到1.34-2.5。