发明名称 |
Framgangsmåte og anordning for lakkering eller belegging av et substrat |
摘要 |
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申请公布号 |
NO972676(A) |
申请公布日期 |
1997.06.11 |
申请号 |
NO19970002676 |
申请日期 |
1997.06.11 |
申请人 |
STEAG MICRO TECH GMBH |
发明人 |
APPICH, KARL;STUMMER, MANFRED |
分类号 |
B05D1/26;B05C5/02;B05C9/02;B05C11/105;H01L21/00;(IPC1-7):B05C9/02 |
主分类号 |
B05D1/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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