发明名称 Framgangsmåte og anordning for lakkering eller belegging av et substrat
摘要
申请公布号 NO972676(A) 申请公布日期 1997.06.11
申请号 NO19970002676 申请日期 1997.06.11
申请人 STEAG MICRO TECH GMBH 发明人 APPICH, KARL;STUMMER, MANFRED
分类号 B05D1/26;B05C5/02;B05C9/02;B05C11/105;H01L21/00;(IPC1-7):B05C9/02 主分类号 B05D1/26
代理机构 代理人
主权项
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