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经营范围
发明名称
PROBE CARD DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09153528(A)
申请公布日期
1997.06.10
申请号
JP19950312198
申请日期
1995.11.30
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
HAGIWARA JUNICHI
分类号
G01R31/26;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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