| 发明名称 |
BONDER AND BONDING METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09153525(A) |
申请公布日期 |
1997.06.10 |
| 申请号 |
JP19950312115 |
申请日期 |
1995.11.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SHIBATA MOTOJIRO;KASHIMA NORIYASU;HIRANO NAOHIKO;HIRUTA YOICHI |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
