| 发明名称 |
Method of manufacturing a semiconductor device |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US4352724(B1) |
申请公布日期 |
1997.06.10 |
| 申请号 |
US19800208391 |
申请日期 |
1980.11.19 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
SUGISHIMA KENJI;TAKADA TADAKAZU |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/033;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/302;H05H1/00;C23C15/00;C23F1/00 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
