| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR GENERATING DATA FOR ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09153442(A) |
申请公布日期 |
1997.06.10 |
| 申请号 |
JP19950300430 |
申请日期 |
1995.10.26 |
| 申请人 |
DAINIPPON PRINTING CO LTD |
发明人 |
SATO HIDEKI |
| 分类号 |
H01L21/027;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
