| 发明名称 |
FILM DEPOSITION FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09153470(A) |
申请公布日期 |
1997.06.10 |
| 申请号 |
JP19950313894 |
申请日期 |
1995.12.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAITO YOKO;HIRASAWA SHIGEKI;SAITO TATSUYUKI;NEZU HIROKI |
| 分类号 |
C23C14/14;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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