发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER CHAMFERED FACE POLISHING METHOD AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09150357(A) 申请公布日期 1997.06.10
申请号 JP19950311359 申请日期 1995.11.29
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP 发明人 KAWAGUCHI AKIRA;MUNEZANE KENJI;TSURUTA SHOJI;KUMABE SHIGEO
分类号 B24B9/00;(IPC1-7):B24B9/00 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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