发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09153467(A) 申请公布日期 1997.06.10
申请号 JP19950312067 申请日期 1995.11.30
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 HARA KOICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址