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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09153504(A) 申请公布日期 1997.06.10
申请号 JP19950335877 申请日期 1995.11.30
申请人 MITSUMI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKANIWA KATSUKI
分类号 H01L21/56;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
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