发明名称 |
DEFECT DETECTOR AND MEASURING APPARATUS THEREFOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH09152410(A) |
申请公布日期 |
1997.06.10 |
申请号 |
JP19950313897 |
申请日期 |
1995.12.01 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YOSHIMURA TOSHIHIKO;ISHIKAWA YUICHI |
分类号 |
G01N23/225;(IPC1-7):G01N23/225 |
主分类号 |
G01N23/225 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|