| 发明名称 |
BOX TYPE CABINET FOR LIQUID CHEMICAL PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09150103(A) |
申请公布日期 |
1997.06.10 |
| 申请号 |
JP19950338237 |
申请日期 |
1995.11.30 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
KATO HIROSHI;OTANI MASAMI |
| 分类号 |
F17D1/04;B01L1/00;B05C11/10;H01L21/02;(IPC1-7):B05C11/10 |
主分类号 |
F17D1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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