| 发明名称 |
DUST-PROOF MASK FIXING DEVICE IN TESTER FOR DUST-PROOF MASK PERFORMANCE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09152397(A) |
申请公布日期 |
1997.06.10 |
| 申请号 |
JP19950335670 |
申请日期 |
1995.12.01 |
| 申请人 |
SHIBATA KAGAKU KIKAI KOGYO KK |
发明人 |
KIMURA KIKUJI;SHIOZAKI HARUAKI |
| 分类号 |
A62B27/00;G01N15/08;(IPC1-7):G01N15/08 |
主分类号 |
A62B27/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
