| 发明名称 |
ROTARY TYPE SUBSTRATE DRYING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09152272(A) |
申请公布日期 |
1997.06.10 |
| 申请号 |
JP19950311961 |
申请日期 |
1995.11.30 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YOSHITANI MITSUAKI |
| 分类号 |
B08B11/04;F26B5/08;F26B5/14;F26B17/30;F26B25/00;H01L21/304;(IPC1-7):F26B17/30 |
主分类号 |
B08B11/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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