发明名称 ELECTROLYTIC ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09153478(A) 申请公布日期 1997.06.10
申请号 JP19950312025 申请日期 1995.11.30
申请人 NISSAN MOTOR CO LTD 发明人 UCHIYAMA MAKOTO;IWASAKI YASUKAZU;NOJIRI HIDETOMO
分类号 C25F7/00;B81C1/00;H01L21/306;H01L21/3063;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C25F7/00
代理机构 代理人
主权项
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