WAFER CLEANING BATH AND SINGLE WAFER CLEANING DEVICE,申请号JP19950322426-传众专利搜索

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发明名称	WAFER CLEANING BATH AND SINGLE WAFER CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH09148296(A)	申请公布日期	1997.06.06
申请号	JP19950322426	申请日期	1995.11.17
申请人	ENYA SYST:KK	发明人	SATO MICHIHISA
分类号	H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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