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发明名称 METHOD OF COATING
摘要
申请公布号 JPH09148214(A) 申请公布日期 1997.06.06
申请号 JP19950299377 申请日期 1995.11.17
申请人 SONY CORP 发明人 IKEDA RIKIO;YAMADA HIROYUKI
分类号 B05D1/40;H01L21/027;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
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