发明名称 MANUFACTURE OF DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09148455(A) 申请公布日期 1997.06.06
申请号 JP19960110633 申请日期 1996.05.01
申请人 AT & T CORP 发明人 JIYOZE BEBUKU;MASHIASU WAANAA FUERUCHI;JIYOOJI II JIYORUJIYO;SUTEIIBUN JIEEMUZU HIRENIUSU
分类号 H01L23/52;H01L21/225;H01L21/3205;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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