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发明名称 THIN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09148248(A) 申请公布日期 1997.06.06
申请号 JP19950305615 申请日期 1995.11.24
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKAKIBARA TAKAHISA;IZU HIROAKI;KIYAMA SEIICHI
分类号 C23C16/48;B81C1/00;C23C16/44;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/320 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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