| 发明名称 |
OPERATION CONTROL METHOD FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09146602(A) |
申请公布日期 |
1997.06.06 |
| 申请号 |
JP19950300095 |
申请日期 |
1995.11.17 |
| 申请人 |
TAMURA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
YOSHIMURA KATSUMI;TAKAGI TATSUMI;TOYODA TAKAAKI |
| 分类号 |
H05K10/00;G05B9/02;(IPC1-7):G05B9/02 |
主分类号 |
H05K10/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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