| 发明名称 |
HEATING HEATER FOR PLASMA CVD DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09148049(A) |
申请公布日期 |
1997.06.06 |
| 申请号 |
JP19950323873 |
申请日期 |
1995.11.17 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
OYAMA KATSUMI |
| 分类号 |
H05B3/12;C22C19/03;C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):H05B3/12 |
主分类号 |
H05B3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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