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发明名称 APPARATUS FOR FILM DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPH09148316(A) 申请公布日期 1997.06.06
申请号 JP19950329771 申请日期 1995.11.25
申请人 SONY CORP 发明人 ISHIKAWA YOSHIMITSU
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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