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发明名称 OXIDATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09148318(A) 申请公布日期 1997.06.06
申请号 JP19950328286 申请日期 1995.11.22
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;NITTO CHEM IND CO LTD 发明人 SAITO YUKIMASA;HONMA KENJI;ORII KOICHI;KATSURA MASAHIKO
分类号 H01L21/31;H01L21/26;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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