| 发明名称 |
DIRECTION ADJUSTMENT MECHANISM FOR EXHAUST CONNECTION, AND WAFER PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09148211(A) |
申请公布日期 |
1997.06.06 |
| 申请号 |
JP19950308874 |
申请日期 |
1995.11.28 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
TANIGUCHI HIDEYUKI |
| 分类号 |
F01N13/08;F16L23/02;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/02;F01N7/08 |
主分类号 |
F01N13/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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