| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING CASSETTE FOR PRECISION SUBSTRATE AND CASSETTE FOR PRECISION SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09147512(A) |
申请公布日期 |
1997.06.06 |
| 申请号 |
JP19950329436 |
申请日期 |
1995.11.27 |
| 申请人 |
SHIN ETSU POLYMER CO LTD;SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
KOGURE KIYOJI |
| 分类号 |
B65D85/86;B29C45/17;B65D85/57;G11B23/02;G11B23/03;H01L21/673;(IPC1-7):G11B23/03 |
主分类号 |
B65D85/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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