| 发明名称 |
ION GENERATOR AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09147772(A) |
申请公布日期 |
1997.06.06 |
| 申请号 |
JP19950304822 |
申请日期 |
1995.11.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
TAIRA KENJI;UCHIDA JUNICHI;SETO MASATOSHI;MIYASHITA TOSHIAKI |
| 分类号 |
C23C14/32;H01J37/08;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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