发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Proben
摘要
申请公布号 DE69030596(D1) 申请公布日期 1997.06.05
申请号 DE19906030596 申请日期 1990.02.07
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KAWASAKI, YOSHINAO, KUMAGE-GUN, YAMAGUCHI 745-06, JP;KAWAHARA, HIRONOBU, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI 744, JP;SATO, YOSHIAKI, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI 744, JP;FUKUYAMA, RYOOJI, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI 744, JP;NOJIRI, KAZUO, HIGASHIMURAYAMA-SHI, TOKYO 189, JP;TORII, YOSHIMI, TACHIKAWA-SHI, TOKYO 190, JP
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01J37/18;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/677;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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