发明名称 Vorrichtung zum Laserstrahlbelichten eines kreisscheibenförmigen Substrates und Verfahren zum zentrischen Spannen eines kreisscheibenförmigen Substrates
摘要
申请公布号 DE19544281(A1) 申请公布日期 1997.06.05
申请号 DE19951044281 申请日期 1995.11.28
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 HENSEL, BERND, 65760 ESCHBORN, DE;HOFMANN, FRIEDRICH, 63654 BUEDINGEN, DE;KOOP, HERMANN, DR., 30952 RONNENBERG, DE;KAISER, PAUL, 81539 MUENCHEN, DE;FEICK, EBERHARD, 81249 MUENCHEN, DE
分类号 G11B17/022;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 主分类号 G11B17/022
代理机构 代理人
主权项
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