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发明名称
SURFACE FOREIGN MATTER DETECTOR
摘要
申请公布号
JPH09145631(A)
申请公布日期
1997.06.06
申请号
JP19950333981
申请日期
1995.11.29
申请人
NIKON CORP
发明人
KOMATSU KOICHIRO
分类号
G01B11/30;G01N21/47;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01B11/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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