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发明名称 Maskenausrichtung für Abstandslithographie unter Verwendung eines gespeicherten Videobildes
摘要
申请公布号 DE69310231(D1) 申请公布日期 1997.06.05
申请号 DE19936010231 申请日期 1993.02.05
申请人 KARL SUSS AMERICA INC., WATERBURY CENTER, VT., US 发明人 DOMENICALI, PETER L., MONTPELIER, VERMONT 05602, US
分类号 G03F1/08;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;H04N7/18;(IPC1-7):G03F9/00;G02B21/00 主分类号 G03F1/08
代理机构 代理人
主权项
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