| 发明名称 |
Method of producing semiconductor wafers with a modified check of the inner imperfections |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0328048(B1) |
申请公布日期 |
1997.06.04 |
| 申请号 |
EP19890102106 |
申请日期 |
1989.02.08 |
| 申请人 |
MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. |
发明人 |
HUBER, WALTER, DR. |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B33/02;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322;H01L21/324 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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