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发明名称 Micropattern-forming material and process for forming micropattern
摘要
申请公布号 EP0390173(B1) 申请公布日期 1997.06.04
申请号 EP19900106075 申请日期 1990.03.29
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 发明人 KOKUBO, TADAYOSHI;UENISHI, KAZUYA;TAN, SHIRO;ISHII, WATARU
分类号 G03F7/023;C08K5/42;C09D161/06;G03F7/022;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/039;G03F7/26;C08G8/24;G03F7/20;G03F7/32 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
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