发明名称
摘要
申请公布号 JP2616944(B2) 申请公布日期 1997.06.04
申请号 JP19880000099 申请日期 1988.01.05
申请人 发明人
分类号 C23C2/06;C23C2/14;C23C2/28;(IPC1-7):C23C2/06 主分类号 C23C2/06
代理机构 代理人
主权项
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