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发明名称
摘要
申请公布号 JP2615641(B2) 申请公布日期 1997.06.04
申请号 JP19870191737 申请日期 1987.07.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/8222;H01L21/331;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/822 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
主权项
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