Device for laser beam exposure of a disc-shaped substrate and method of centrally clamping a disc-shaped substrate

摘要

Eine Vorrichtung zum Laserstrahlbelichten eines kreisscheibenförmigen Substrates (7) hat eine mit hoher Drehzahl umlaufende, vertikal angeordnete Spindel (5), die einen Drehteller (6) zum Aufspannen des Substrates (7) trägt, der einen geringeren Durchmesser hat als die Substrate. Koaxial zum Drehteller (6) ist ein konischer Ring (10) höhenverfahrbar zwischen einer unteren und oberen Stellung angeordnet. Dieser hat an seiner oberen Seite einen größeren Durchmesser und an seiner unteren Seite einen geringeren Durchmesser als das Substrat (7). In seiner unteren Stellung hat der konische Ring (10) Abstand von einem auf dem Drehteller (6) aufliegenden Substrat (7), in seiner oberen Stellung hält er jedoch das Substrat (7) mit seiner Innenmantelfläche auf axialen Abstand zum Drehteller (6). <IMAGE>