| 发明名称 |
Method and apparatus for chemical-mechanical polishing using pneumatic pressure applied to the backside of a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5635083(A) |
申请公布日期 |
1997.06.03 |
| 申请号 |
US19950467546 |
申请日期 |
1995.06.06 |
| 申请人 |
INTEL CORPORATION |
发明人 |
BREIVOGEL JOSEPH R.;PRINCE MATTHEW J.;BARNS CHRISTOPHER E. |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B49/16;H01L21/306;H01L21/3105;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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