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发明名称 METHOD FOR REMOVING MOISTURE FOR VACUUM TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09143675(A) 申请公布日期 1997.06.03
申请号 JP19950297151 申请日期 1995.11.15
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 TANAKA MASARU
分类号 C23C14/00;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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