| 发明名称 |
REFINING MEMBRANE FOR SEMICONDUCTOR WAFER TREATING LIQUID AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09141058(A) |
申请公布日期 |
1997.06.03 |
| 申请号 |
JP19950319764 |
申请日期 |
1995.11.15 |
| 申请人 |
NIPPON MILLIPORE KK |
发明人 |
OHIRA KOICHI;AMARI MUTSUHIRO;USUI ERIKO |
| 分类号 |
B01D61/00;B01D69/12;B01D71/02;H01L21/304;(IPC1-7):B01D61/00 |
主分类号 |
B01D61/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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