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发明名称 CONTINUOUS VACUUM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09143726(A) 申请公布日期 1997.06.03
申请号 JP19950309384 申请日期 1995.11.28
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 SUGINO TOMOHIRO;MATSUI KUNIO;HIRATA ATSUSHI;NOMURA AKIHIRO;MATSUDA SHIKO
分类号 C23C14/30;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
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