| 发明名称 |
SPLASH MONITOR DEVICE FOR CONTINUOUS VACUUM VAPOR DEPOSITION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09143718(A) |
申请公布日期 |
1997.06.03 |
| 申请号 |
JP19950299565 |
申请日期 |
1995.11.17 |
| 申请人 |
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD |
发明人 |
NAKABAYASHI TAKASHI;MORI MOTOHARU;NOMURA AKIHIRO;MATSUDA SHIKO |
| 分类号 |
C23C14/30;C23C14/52;C23C14/54;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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