| 发明名称 |
FORMATION OF HIGH MOLECULAR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09143681(A) |
申请公布日期 |
1997.06.03 |
| 申请号 |
JP19950319642 |
申请日期 |
1995.11.14 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
IIJIMA MASAYUKI;SATO MASATOSHI |
| 分类号 |
C08G18/32;C08G73/10;C23C14/12;(IPC1-7):C23C14/12 |
主分类号 |
C08G18/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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