HORIZONTAL VAPOR PHASE EPITAXY METHOD AND APPARATUS THEREFOR,申请号JP19950298622-传众专利搜索

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发明名称	HORIZONTAL VAPOR PHASE EPITAXY METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号	JPH09142983(A)	申请公布日期	1997.06.03
申请号	JP19950298622	申请日期	1995.11.16
申请人	HITACHI CABLE LTD	发明人	MINAGAWA SHUNICHI
分类号	C30B23/02;H01L21/205;(IPC1-7):C30B23/02	主分类号	C30B23/02
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